環境型原子力顯微鏡 AFM5300E

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所屬分類：

原子力顯微鏡

日立

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產品詳情

特點

1. 環境控制功能(大氣，真空，液體，溫控等)

AFM5300E能夠實現高真空的測試環境，最大限度減小樣品表面吸附水對測試的影響，實現精確的物理特性測量。真空環境下可以實現更大范圍的溫度控制。

(專利3857581號、專利3926638號)

? 大氣中　? 液體中　? 真空中　? 特殊氣氛(流量控制)

? 溫度控制加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)

? 濕度控制(0～80%)

2. 簡便操作(綜合型Holder Flange)

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調整。也省去測試模式切換時的支架更換環節。

3. 卓越的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。

4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度

真空環境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實現高分辨高靈敏的電學性能分析。

規格

分辨率	原子相
樣品尺寸	20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴展至20 mm)
樣品移動范圍	X-Y stage 5 mm
掃描范圍	標準： 20 μm□/1.5 μmH ? 150 μm□/5 μmH ? 15 μm□/1.5 μmH（閉環差控制）定位顯微鏡 ? 簡易顯微鏡（×200倍） ? 光學顯微鏡（×1000倍） ? 變焦顯微鏡（×700倍） ? 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍）
檢測功能	? AFM（接觸模式） ? DFM（輕敲模式） ? PM（相位） ? FFM（摩擦） ? MFM（磁力） ? SIS模式 ? LM-FFM（橫向摩擦） ? VE-AFM/DFM（粘彈性） ? Adhesion（吸附力） ? CURRENT（電流） ? SSRM（擴展抵抗） ? SNDM（非線性介電常數） ? PRM（壓電響應）、KFM（表面電位） ? 液體中AFM/DFM ? EC-AFM/STM ? NanoIndentation（硬度） ? Nano-TA（微區加熱）
選配件	高溫加熱樣品臺加熱冷卻兼用樣品臺冷卻真空溫度控制